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仪器型号 / 仪器参数:FH300
仪器外形尺寸:1000mm × 700mm × 1450mm
测量行程 :300mmX200mm
仪器用途 :检测芯片切割之前字符尺寸偏移量
工具金相显微镜是具有电子数字成像与目视系统,兼具影像坐标测量与显微观察功能的测量型金相显微镜。该仪器广泛应用于半导体,FPD面板,电子组件,电路封装,电路基板,精密刀具,PCB加工等方面。不仅应用于长度、角度等二维测量,亦可用于ITO、ACF导电粒子形状和瑕疵观察。是机械、电子、科研院所及计量实验室不可或缺的计量检测设备之一。
仪器型号/ 仪器参数 | FH300 | |||
测量行程(mm)* | 300X200X150 | |||
外形尺寸(mm) | 750X640X900 | |||
仪器重量(kg) | 200 | |||
承载重量(kg) | 30 | |||
测量精度 | X/Y≤(2.0+L/200)µm | |||
L为被测物长度,单位为mm | ||||
导轨 | P级精密V型交叉导轨 | |||
光栅尺** | 0.5µm光栅尺 | |||
控制方式 | X/Y轴手动控制,Z轴电动控制 | |||
图像传感器 | 高清晰、高分辨率彩色工业数字摄像机 | |||
光源 | 透射光 | LED平行冷光源,256级亮度可调 | ||
反射光 | 卤素灯/LED照明器可选 | |||
目镜 | 三目镜筒 | |||
光学物镜*** | 手动物镜转换器:5X 10X 20X 50X 100X(倍率可选) | |||
适用电源 | 100-240V(AC) 50/60Hz | |||
工作环境 | 温度22±2℃ 湿度30%-80% 振动<0.002g,低于15Hz |
备注
* Z轴标配测量行程为150mm,特殊需求可定制
** 标配为0.5µm光栅尺,可选配0.1µm光栅尺
*** 可选配自动变倍物镜转换器
各型号量程仪器支持定制开发
高精度花岗岩底座、立柱,确保机构有极高的稳定性及精度
高精度、高分辨率光栅尺
高解析度、高分辨率工业专用彩色CCD,确保拥有高质量的测量画面
Z轴电动手脉控制
可实现高度辅助测量
可扩展选配DIC微分干涉模块
可扩展选配光谱共焦白光测量模块
仪器型号 / 仪器参数:FH300
仪器外形尺寸:1000mm × 700mm × 1450mm
测量行程 :300...
查看详情仪器型号 / 仪器参数:MV1400CNC
测量行程(mm):1000x1400x150
外形尺寸(mm):2300x165...
查看详情仪器型号 / 仪器参数:MV300
测量行程(mm):300x200x150
外形尺寸(mm):850x650x950 查看详情