产品介绍
工具金相显微镜是具有电子数字成像与目视系统,兼具影像坐标测量与显微观察功能的测量型金相显微镜。该仪器广泛应用于半导体,FPD面板,电子组件,电路封装,电路基板,精密刀具,PCB加工等方面。不仅应用于长度、角度等二维测量,亦可用于ITO、ACF导电粒子形状和瑕疵观察。是机械、电子、科研院所及计量实验室不可或缺的计量检测设备之一。
产品参数
仪器型号 / 仪器参数 | MV1400CNC | ||||
测量行程(mm) | 1000x1400x150 | ||||
外形尺寸(mm) | 2300x1650x1800 | ||||
仪器重量(kg) | 2650 | ||||
承载重量(kg) | 30 | ||||
测量精度 | X/Y≤(3.0+L/200)µm | ||||
L为被测物长度,单位为mm | |||||
导轨 | 日本THK高精密直线导轨 | ||||
光栅尺* | 0.5µm光栅尺 | ||||
控制方式 | X/Y/Z三轴自动控制 | ||||
图像传感器 | 高清晰、高分辨率彩色工业数字摄像机 | ||||
光源 | 透射光 | LED平行冷光源,256级亮度可调 | |||
反射光 | 卤素灯/LED照明器可选 | ||||
光学物镜** | 手动物镜转换器:5X 10X 20X 50X 100X(倍率可选) | ||||
适用电源 | 100-240V(AC)50/60Hz | ||||
工作环境 | 温度22±2℃湿度30%-80%振动<0.002g,低于15Hz |
备注
* 标配为0.5µm光栅尺,可选配0.1µm光栅尺
** 可选配自动变倍物镜转换器
仪器特点
各型号量程仪器支持定制开发
高精度花岗岩底座、立柱,确保机构有极高的稳定性及精度
高精度、高分辨率光栅尺
高解析度、高分辨率工业专用彩色CCD,确保拥有高质量的测量画面
三轴自动控制
可实现高度辅助测量
可扩展选配DIC微分干涉模块
可扩展选配光谱共焦白光测量模块